半导体光刻技术代工-半导体研究所-辽宁半导体光刻技术

半导体光刻技术——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

第三代半导体的优势与特点

第三代半导体材料便是以碳化硅（sic）、氮化镓（gan）为代表，它们不仅在电子迁移率（低压条件下的高频工作性能）上高于硅材料，还在饱和飘逸速率（高压条件下的高频工作性能）强于硅材料，更有着硅材料---的禁带宽度（器件的耐压性能、工作温度与光学性能），“宽禁带（wide band-gap，wbg）”也是业内之所以重视第三代半导体材料的原因。

高禁带宽度的好处是，器件耐高压、耐高温，并且功率大、抗辐射、导电性能强、工作速度快、工作损耗低。 国内之所以用“代”这个词来划分半导体材料，主要是受到半导体材料的---应用所推动的第三次产业---所影响，虽然第三代半导体在高温、强辐射、大功率等特殊场景中有着非常---的优势，但目前硅材料仍占据市场---位置，因为硅材料在---性和整体性上有着其他半导体材料---的优势。

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半导体光刻技术——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

光刻板图案并不是设计图纸的简单再现，而是要根据实际工作经验对图案进行合理修饰才行。不做修饰的光刻板经过光刻机的显影以后，得到的芯片图案会失真非常---。

打个简单的比方，要想打印一个老虎的图案，半导体光刻技术代工，必须得用猫的相片作为参照，半导体光刻技术技术，如果用老虎自己的相片做参照，打印出来的可能就是怪兽了。所以，制作光刻板，不能跟图纸设计的图案完全一样。

必须根据光学衍射的理论，和光刻机实际失真程度的经验进行反向设计，把光刻板图案做一定的修饰，以便终光刻出来的图案足够接近理想效果。这个环节对设计经验的要求非常高，得反复试验才能达到的效果。

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