电子束蒸发真空镀膜代工-台湾电子束蒸发真空镀膜-半导体研究所

电子束蒸发真空镀膜——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，电子束蒸发真空镀膜外协，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在重新开真空镀膜机前，要注意检漏。

     扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，电子束蒸发真空镀膜代工，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

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在制备dlc薄膜时，因为制备方法的不同，可以制备含氢和非氢dlc薄膜。在制备这两种dlc薄膜时，含氢和非氢dlc薄膜的结构，性能都不一样。非氢dlc薄膜只是在基片上溅射石墨，不含有其他的离子或元素，但是含氢dlc薄膜在溅射制备时要有h+。所以当在制备非氢dlc薄膜时，充入的气体只是气，台湾电子束蒸发真空镀膜，但是在制备含氢dlc薄膜时，我们还要充入碳氢化合物气体，我们一般充入ch4或c2h2，这使得制备出来的两种dlc薄膜的结构和性能有很大差异。非氢dlc薄膜的硬度要比含氢dlc薄膜的大，同时，由于含氢dlc薄膜含有h+，所以含氢dlc薄膜表面一般比非氢dlc薄膜要致密光滑。同时，含氢dlc薄膜在制备时一般它的沉积速率比非氢dlc薄膜要明显快些。

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