生物芯片微纳加工工厂-云南生物芯片微纳加工-半导体材料

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，云南生物芯片微纳加工，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

光学微纳制造技术是什么？

芯片制造的核u心是光学微纳加工，它的参数包括：分辨力、套刻精度、视场、加工速度等等。光学微纳加工的作用便是将掩膜版上的图形转移到代加工的基片上。由于传统技术常受限于光学衍射---，原来主要是通过缩短光源的波长，用来增大光学系统中物镜的数值孔径来提高分辨力，但这仍然存在很大的---。目前，光学微纳制造加工技术面临着的新的基于和挑战，生物芯片微纳加工服务价格，未来仍有一断很长的路要走。

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微纳加工的动力学原理

由于能量集中度高、热影响区域小、没有残渣飞溅和熔渣、不需要特殊的气体环境、没有后续工艺、双光子聚合加工精度高（精度可达到0.7um）等优势，在精细加工及微纳加工技术的隐形切割方面都取得了很大的进展。

　　根据不同的特性，作用的领域也不尽相同：

1、其热影响区域小，加工精度高可用于表面微加工及纳米级深孔加工工艺；

2、根据其加工精度高，微型化能力强可用于光通信领域中光波导、光栅、光子晶体、微通道等的制备；

3、根据其“冷”加工，能量消耗低、准确度高的优点，可在生物领域有很强的应用前景。

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