河北微纳加工技术-半导体研究所-硅硅键合微纳加工技术

微纳加工技术——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

mems设计表面微加工存在的力学问题

mems设计表面微加工指通过沉积多层薄膜和图形制备三维微机结构的一种加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， psg（磷硅酸盐玻璃）， bsg（硼硅酸玻璃）和金属

典型的结构组成包括1.微结构层 2.---层 3.绝缘层部分。在微加工过程中存在三个主要力学问题：  

（1）层间黏附

（2）界面应力

（3）静态阻力

层间的黏附在分离材料层中的---层时有所体现，一定程度上影响悬臂梁正常状态，容易发生坍塌

层与层之间材料的热膨胀系数不匹配会引起热应力，过量掺杂也会导致结构在表面微加工之后产生残余应力。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多微纳加工技术~

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，硅硅键合微纳加工技术，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，河北微纳加工技术，以及行业应用技术开发。

微纳制造和机械自动化哪个前景好

机械组自动化是一项应用计算机和他的---设备协助工程---来完成产品设计、制造的一项新兴技术，随着我国制造业的快速发展，市场呈现出对于机械设计制造以及自动化人才的大量需求，机械自动化在未来有着---的发展前景。微纳制造包括微制造和纳制造两个部分，微制造是一种基于半导体制造工艺的光刻技术，纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术。在航空航天等诸多领域应用十分广泛，有着很大的发展潜力。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多微纳加工技术~