半导体光刻-硅真空镀膜服务-海南硅真空镀膜

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当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

     方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

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在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下，硅真空镀膜服务， 真空室内含有众多的残余气体分子( 氧、氮、水及碳氢化合物等 ) ，它们能给薄膜的镀制带来---的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短；它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应； 它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜；它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命；它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行。

      因此，蒸发真空镀膜机要镀制膜层，必须要真空状态下才能进行镀膜，膜层才会牢固，才不会有污染物等。

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