河南材料刻蚀服务价格-流道材料刻蚀服务价格-半导体研究所

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    2023-5-2

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刻蚀设备分类

目前主流所用的是干法刻蚀工艺,利用干法刻蚀工艺的叫等离子体刻蚀机。也分为三大类,分别是介质刻蚀机、硅刻蚀机、金属刻蚀机,这主要是因为电容性等离子体刻蚀设备在以等离子体在较硬的介质材料(氧化物、氮化物等硬度髙、需要髙能量离子反应刻蚀的介质材料;有机掩模材料)上,刻蚀通孔、沟槽等微观结构;电感性等离子体刻蚀设备主要以等离子体在较软和较薄的材料(单晶硅、多晶硅等材料)上,刻蚀通孔、沟槽等微观结构。



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业界有个简单的比喻:如果把芯片比作一幅平面雕刻作品,那么光刻机是打草稿的画笔,刻蚀机是雕刻刀,沉积的薄膜则是用来雕刻的基础材料。光刻的精度直接决定了电路的走向和尺寸,硅柱材料刻蚀服务价格,而刻蚀和薄膜沉积的精度则决定了光刻的尺寸能否实际加工。所以师傅用刀刻掉不用的部分,雕成想要的图形,河南材料刻蚀服务价格,像芯片工艺流程中的刻蚀,今天主要为大家分享刻蚀工艺。

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干法刻蚀用于---的图形转移。目前我国刻蚀工艺以及刻蚀设备相对于光刻而言,已经能够达到较为---的水平。能够达到较高的刻蚀选择性、---的尺寸控制、低面比例依赖刻蚀和---的等离子体损伤。

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