mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
在聚合物熔体微挤出成型的过程中，机头流道结构直接影响到熔体流动的流场分布与稳定性。
微纳加工技术的特点：
（1）微电子化：采用mems工艺，可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感阵列、微执行器阵列甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出---性、稳定性比较高的微电子机械系统。
（2）mems技术适合批量生产：用硅微加工工艺在同一硅片上同时可制造出成百上千微型机电装置或完整的mems，批量生产可较---低生产成本。
（3）多学科交叉：mems涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多学科，并集约当今科学发展的许多成果。
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美国mems bryzek曾预测mems芯片市场(绿线)将在2023年达到1兆片(tilion)的市场规模。对于微纳加工来说，也是不小的挑战。电子产品是驱动mems产量和产值增长的驱动力，并且拥有数以万计的价值，对于mems工厂来说是一场没有硝烟的“战役”。
微纳加工是伴随着mems发展起来的产业，所以对于微纳加工工厂来说，也是不小的挑战。除了要有自己丰富经验的工艺团队，应对不同客户不同加工需求，也面临人才、资金的问题。在未来3年内，是否能面对---需求的挑战﹖因人而异。
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微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。
微纳加工技术的特点：
（1）微型化：mems体积小（芯片的特征尺寸为纳米/微米级）、微纳结构器件研发轻、功耗低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。例如，一个压力成像器的微系统，含有1024个微型压力传感器，整个膜片尺寸仅为10mm×10mm，每个压力芯片尺寸为50μm×50μm。
（2）多样化：mems包含有数字接口、自检、自调整和总线兼容等功能，具备在网络中应用的基本条件，具有标准的输出，便于与系统集成在一起，而且能按照需求，灵活地设计制造更多化的mems。
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