阳极键合微纳加工实验室-半导体研究所-上海微纳加工实验室

微纳加工实验室——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，光电器件微纳加工实验室，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工技术是当今时代的技术之一，历史虽然不长，但发展迅速。从实际应用来看，主要可分为两大类，硅基微机械加工技术和非硅基微机械加工技术。

硅基微机械加工技术以体硅微机械加工、表面微机械加工和复合微机械加工三种为主。非硅基微机械加工技术包括有liga加工技术、激光微机械加工技术、深等离子体刻蚀技术以及紫外线厚胶刻蚀技术。

随着mems加工设备的协同发展，目前复合微机械加工技术、liga加工技术和激光微机械加工技术可以说是mems加工的三个主流技术。