ebl微纳加工代工-半导体研究所(商家)

微纳加工代工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

　mems加工的加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速度计目前有两种：一种是角加速度传感器，也叫陀螺仪；另一种是线加速度计。

　　加速度传感器的原理随着其应用不同而出现不同类型的加速度传感器，其分类有压阻式，电容式，压电式，谐振式，伺服式等。

　　压阻式是较早的微型化和商业化的一类加速度传感器。其加工工艺比较简单，主要采用注入、推进、氧化的工艺来制作压敏电阻；采用koh腐蚀来制作块并使用aes来释放梁和快，后采用键合工艺来得到所需的“三明治”结构。

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mems热电堆芯片加工

常见的mems设计热电堆传感器有封闭膜式和悬臂梁式。

传统热电堆芯片采用湿法腐蚀工艺，cmos-mems热电堆芯片则采用干法腐蚀工艺。

微纳制造技术是建筑纳米科技大厦的基石之一，上海微纳加工代工，其在传感器上的应用成果即mems传感器，包括压力传感器，加速度传感器，图像传感器等。这些传感器在医i疗，汽车电子，运动追i踪等领域都有广泛应用。

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