半导体光刻-等离子体增强气相沉积真空镀膜加工平台

真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

  磁控溅射真空镀膜机镀制薄膜，均匀性是一项重要指标，因此研究影响磁控溅射均匀性的影响因素，能---的实现磁控溅射均匀镀膜。简单的说磁控溅射就是在正交的电磁场中，闭合的磁场束缚电子围绕靶面做螺旋运动，在运动过程中不断撞击工作气体气电离出大量的离子，离子在电场作用下加速轰击靶材，溅射出靶原子离子（或分子）沉积在基片上形成薄膜。所以要实现均匀的镀膜，就需要均匀的溅射出靶原子离子（或分子），这就要求轰击靶材的离子是均匀轰击的。由于离子是在电场作用下加速轰击靶材，所以要求电场均匀。而离子来源于闭合的磁场束缚的电子在运动中不断撞击形成，这就要求磁场均匀和气分布均匀。但是实际的磁控溅射装置中，这些因素都是很难完全的均匀，这就有---研究他们不均匀对成膜均匀性的影响。实际上磁场的均匀性和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。磁场大的位置膜厚，微流控真空镀膜加工平台，反之膜薄，磁场方向也是影响均匀性的重要因素。气压方面，在一定气压条件下，气压大的位置膜厚，反之膜薄。

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刚了解或者刚接触的真空镀膜机行业时，很多人好奇，为啥蒸发真空镀膜设备蒸镀材料必须要在真空状态下，而且真空镀还要达到一定的标准，在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜，事实上，如在压力不够低 ( 或者说真空度不够高 ) 的情况下同样得不到好的结果， 比如在10 2托数量级下蒸镀铝，叉指电极真空镀膜加工平台，得到的膜层不但不光亮，甚至发灰、发黑，而且机械强度极差，用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层破坏。

蒸镀必须在一定的真空条件下进行

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