江苏mems微纳加工-半导体测试-mems微纳加工代工

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

什么是激光微纳制造技术？

　　激光制造技术涵盖了很多，例如激光焊接、切割、激光打孔等等，这些均为宏观制造技术；但激光微焊接、精密打孔、精密切割等技术，为激光微加工技术；而激光微纳制造技术主要是以直写，干涉光刻、激光---表面纳米结构和纳米颗粒的激光制备技术等，江苏mems微纳加工，跨越了毫米、微米以及纳米的多个尺度。

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　　mems代工的湿度传感器是由简单的湿敏电阻（电容）制作而成，湿敏电阻和湿敏电容测量湿度的原理呢？则是由湿敏电阻上面覆盖的一层高分子膜，这层膜会随着湿度的变化影响电阻的电导值或者电容的电容值，利用这种特性可以完成湿度传感器对环境湿度的测量。

　　湿敏元器件可以分为：电阻器式和电容传感器二种：

１、湿敏电阻的特性是在基片上遮盖一层用感湿原材料做成的膜，当空气中的水蒸汽吸咐在感湿膜上时，元器件的电阻和阻值都产生变化，运用这一特点就可以测量湿度；2、湿敏电容器一般是用高分子材料薄膜电容做成的，mems微纳加工服务，常见的纤维材料有聚乙烯、聚酰膜、酪酸---纤维等。当自然环境湿度发生改变时，湿敏电容器的导热系数产生变化，使其容量也产生变化，其电容器变化量与相对性湿度正比。

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