黑龙江真空镀膜平台-半导体-等离子体增强气相沉积真空镀膜平台

真空镀膜平台mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

cvd镀膜设备种类繁多，当前pecvd为主流技术，未来市占率有望进一步提升。cvd是指利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、---物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程控制。cvd镀膜重复性和台阶覆盖性较好，可用于sio2、si3n4、psg、bpsg、teos等介质薄膜，以及半导体、金属（w）、各类金属有机化合物薄膜沉积。cvd种类繁多，根据腔室压力、外部能量等不同，可大致分为 apcvd、lpcvd、sacvd、 pecvd、mocvd等类别。cvd设备反应源容易获得、镀膜成分多样、设备相对简单、---适用于在形状复杂的零件表面和内孔镀膜。

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pvd真空镀膜机和cvd镀膜机区别

薄膜沉积技术根据成膜机理的不同，主要分为物理、化学、外延三大工艺。物理气相沉积镀膜设备，简称pvd真空镀膜机。化学气相沉积镀膜机，简称为cvd镀膜机。

     薄膜沉积技术是半导体、光伏等行业发展的关键工艺。薄膜沉积技术是指将在真空下用各种方法获得的气相原子或分子在基体材料表面沉积以获得离层被膜的技术。它既适合于制备超硬、耐蚀、耐热、化的机械薄膜，又适合于制备磁记录，微流控真空镀膜平台，信息存储、光敏、热敏、超导、光电转换等功能薄膜；此外，还可用于制备装饰性镀膜。近20年来，薄膜沉积技术得到了飞速发展，现已被广泛应用于机械、电子、装饰等领域。