mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，河南微流控微纳加工，主要---半导体产业发展的应用技术研究，微流控微纳加工外协，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
光学微纳制造技术是什么？
芯片制造的核u心是光学微纳加工，它的参数包括：分辨力、套刻精度、视场、加工速度等等。光学微纳加工的作用便是将掩膜版上的图形转移到代加工的基片上。由于传统技术常受限于光学衍射---，原来主要是通过缩短光源的波长，用来增大光学系统中物镜的数值孔径来提高分辨力，但这仍然存在很大的---。目前，光学微纳制造加工技术面临着的新的基于和挑战，未来仍有一断很长的路要走。
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cmos设计和mems设计的区别
cmos被称为互补金属氧化物半导体，是ic集成电路制造工艺中的一种，使用广泛。
mems中文名微电子机械系统，是具备独立功能的智能系统。主要研究方向是在微小结构下结合相应机械结构，完成一些独立的功能。
从设计思路上看：cmos电路通常是从上往下设计的，更适合复杂微系统设计，微流控微纳加工加工，同时还需要设计预定义工艺模块；而mems设计正好相反，大多从下往上设计，且需建立特殊工艺文件。
mems和cmos有很多相近的地方，将mems和cmos相结合是目前研究的火热方向。
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微纳加工中晶圆的基本原料是什么？
微纳加工中的硅从石英沙精练出来，对硅元素加以纯化便晶圆，它的纯度可以达到百分之九十九，接下来是将些纯硅制成硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料。这些材料经过照相制版、研磨、抛光、切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。这些就是晶圆的基本原料。
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