功率器件真空镀膜厂家-贵州功率器件真空镀膜-半导体微纳

功率器件真空镀膜mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，功率器件真空镀膜实验室，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

cvd镀膜设备种类繁多，当前pecvd为主流技术，未来市占率有望进一步提升。cvd是指利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，功率器件真空镀膜厂家，是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、---物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程控制。cvd镀膜重复性和台阶覆盖性较好，可用于sio2、si3n4、psg、bpsg、teos等介质薄膜，以及半导体、金属（w）、各类金属有机化合物薄膜沉积。cvd种类繁多，根据腔室压力、外部能量等不同，可大致分为 apcvd、lpcvd、sacvd、 pecvd、mocvd等类别。cvd设备反应源容易获得、镀膜成分多样、设备相对简单、---适用于在形状复杂的零件表面和内孔镀膜。

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真空系统的部分，可能出现的故障有：

（1）阀门问题，各种阀门打不开：出现各种阀门打不开的情况时，首先检查阀门各属器室的阀门有无关---、气压是不是正常，如果上述的条件都正常但是仍旧不能工作的情况下，则应对照系统电气原理图检查各执行器件供电回路是否正常，逐一进行排除。

工件烘烤系统：

（1）温度失控，恒温不稳定：可能原因有，温控仪工作失常、调功器输出不能调节、热电偶位置欠妥。这种情况下我们可以检修更换温控仪、检查调功器工作情况、调整热电偶位置。

（2）跳闸：可能原因有，自身短路、绝缘降低、电阻太小。这种情况下我们可以检修加热器件重新调整到正常工作、清洗蒸发物质检查绝缘物质是否破损提高真空度、选择较低的输出电压待温度升高再提高电压。