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真空镀膜加工厂mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，lpcvd真空镀膜加工厂，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在溅射的时候，气体经过电离之后，功率器件真空镀膜加工厂，在较低的电压和气压之下产生的离子数目比较少，而且靶材溅射效率低下。如果想产生较多的离子，就要保持在高电压和气压之下，不过这样也有弊端，就是会导致基片---，甚至发生第二次喷溅，后影响到制膜的。除此之外，靶材原子与气体分子的碰撞几率也会变大，---是在靶材原子飞向基片的过程中，ito镀膜真空镀膜加工厂，如果发生这样的情况，造成靶材的浪费的同时还会制造出污染。针对这样的问题，才开发出来直流磁控溅射技术，这项技术早在上世纪七十年代就已经出现。能够有效---上述问题，获得了迅速发展和广泛应用。

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真空系统的部分，可能出现的故障有：

（1）阀门问题，各种阀门打不开：出现各种阀门打不开的情况时，首先检查阀门各属器室的阀门有无关---、气压是不是正常，如果上述的条件都正常但是仍旧不能工作的情况下，则应对照系统电气原理图检查各执行器件供电回路是否正常，逐一进行排除。

工件烘烤系统：

（1）温度失控，恒温不稳定：可能原因有，温控仪工作失常、调功器输出不能调节、热电偶位置欠妥。这种情况下我们可以检修更换温控仪、检查调功器工作情况、调整热电偶位置。

（2）跳闸：可能原因有，自身短路、绝缘降低、电阻太小。这种情况下我们可以检修加热器件重新调整到正常工作、清洗蒸发物质检查绝缘物质是否破损提高真空度、选择较低的输出电压待温度升高再提高电压。