刻蚀微纳加工实验室-半导体研究所-贵州微纳加工实验室

mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，电子束---微纳加工实验室，立足于广东省经济社会发展的实际需要，微流控微纳加工实验室，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

聚合物微纳系统是较具应用前景的微纳机电系统之一。

---的微细结构可以通过电子束直写或激光直写制作，这类光刻技术，贵州微纳加工实验室，像“写字”一样，通过控制---电子束（光束）移动书写图案进行---，具有比较高的---精度，但这两种方法制作效率极低，尤其在大面积制作方面捉襟见肘，目前直写光刻技术仅适用于小面积的微纳结构制作。近年来，三维浮雕微纳结构的需求越来越大，如---光栅、菲涅尔透镜、多台阶微光学元件等。据悉，某公司新上市的手机产品中人脸识别模块就采用了多台阶微光学元件，以及当下如火如荼的无人驾驶技术中激光雷达光学系统也用到了复杂的微光学元件。这类精密的微纳结构光学元件需采用灰度光刻技术进行制作。直写技术，通过在光束移动过程中进行相应的---能量调节，可以实现---的灰度光刻能力。

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如今，微挤出成型技术常应用于纳米介入导管、微型光纤和微细齿轮等的制备。

通过在聚合物表面构造微纳米尺度结构及其阵列，可以得到聚合物微纳结构制件，不同种类的微纳结构赋予聚合物制件许多特殊的功能。如具有微槽流道的微流控生物芯片；具有微纳透镜阵列的光学元件，如导光板、偏光板等；具有仿生微结构的疏水薄膜以及具有高深宽比v槽结构的微结构换热器等。上述微结构制件在生物医学分析、药i物开发、无痛给药、微反应过程、lcd显示器关键光学材料、高i效换热等场合发挥了重要的作用。随着聚合物成型方法的不断成熟与发展，聚合物微结构器件的种类和应用范围也随之丰富与扩大。

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