甘肃微流控微纳加工-半导体测试-微流控微纳加工服务

mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工的特点就是在微观领域中进行的加工技术。相对于传统的机械加工，甘肃微流控微纳加工，mems工艺的尺寸更小，更微观，有些仅仅为几个做米，其厚度就微小。它们采用以硅si为主的材料，采用与集成电路(c)类似的生成技术，可大量利用ic生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

完整的mems是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其主要目的是把信息的获取、处理和执行集中在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而提高自动化和智能化的水平。