生物芯片光刻定---务-黑龙江生物芯片光刻定制-半导体镀膜

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微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

光刻其实是由多步工序所组成的。

1.清洗：

2.旋涂：

3.---。

4.显影：

5.后烘。

边缘的光刻胶一般涂布不均匀，不能得到---的图形，而且容易发生剥离（peeling）而影响其它部分的图形。所以需要去除。方法：

a、化学的方法（chemicalebr）。软烘后，用pgmea或egmea去边溶剂，喷出少量在正反面边缘处，并小心控制不要到达光刻胶有效区域；

b、光学方法（opticalebr）。即硅片边缘---。

在完成图形的---后，用激光---硅片边缘，然后在显影或特殊溶剂中溶解；对准方法：

a、预对准，通过硅片上的notch或者flat进行激光自动对准；

b、通过对准标志（alignmark），位于切割槽（scribeline）上。

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