磁控溅射真空镀膜厂家-广州真空镀膜厂家-半导体镀膜

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    2023-3-16

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2.3.2速度

另一个变量是速度。对于单端镀膜机,镀膜区的传动速度可以在每分钟0~600英寸大约为0 ~ 15.24米)之间选择。对于双端镀膜机,镀膜区的传动速度可以在每分钟0~ 200英寸(大约为0~ 5.08米)之间选择。在给定的溅射速率下,传动速度越低则表示沉积的膜层越厚。

2.3.3气体

后一个变量是气体。可以在三种气体中选择两种作为主气体和辅气体来进行使用。它们之间,任何两种的比率也可以进行调节。气体压强可以在1 ~ 5x 10-3torr之间进行控制。

2.3.4阴极/基片之间的关系

在曲面玻璃镀膜机中,还有一个可以调节的参数就是阴极与基片之间的距离。平板玻璃镀膜机中没有可以调节的阴极。




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上一次小编带大家快速了解了电子束蒸发镀膜机,今天我们来---磁控溅射设备的主要用途有哪些?什么?你不知道什么是磁控溅射?

上一次小编提到了一个词是pvd,即物理气相沉积,光电器件真空镀膜厂家,电子束是pvd的一种,磁控溅射也一样。电子束一般用于对镀膜材料有高纯度高标准要求的领域,而磁控溅射一般的应用更日常一些,比如爷爷奶奶的半导体、常见的绝缘体材料、一些手机壳,这下不再觉得磁控溅射遥远了吧。而且磁控溅射的优点也很明显、很接地气:设备简单、易于操控、镀膜面积大等等。早在上世纪七八十年代,磁控溅射设备就完成低速高温低损伤。



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磁控溅射镀膜可以应用在很多方面,在具体是使用过程中需要注意一些问题。首先就是电压与功率,这会之间影响到整个镀膜的效果,一般来说,提高电压能够做到提高离化率。也就是说在高压的作用下会有更多的溅射原子沉积到物体的表面,也就是说能够调整沉积刀物品表面的量。

正是因为磁控溅射镀膜机在工作状态之中应处于真空环境,并对于气体和压强进行控制,所以这两个变量对于整个镀膜的过程也是有---的影响的。所以首先要---运行过程中其中的空气是高纯度的,当然在追求溅射效果的时候,可以适当加入惰性气体可以提高溅射率,可以据此掌握溅射的效果。



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